1978年5月7日,星期一
张红旗接到华夏科学院光电技术研究所那边打过来的电话,那边在电话里说,他们已经把位于锦官城南部牧马山,原本打算修来自用的办公场所先拿给合资公司办公用,让张红旗过去看看要得不。
在接到电话后,张红旗直接从132厂借了一辆小车,直接就去了那边。
在这个时候可没有gps定位,张红旗和司机都只知道公司的地点位于锦官城南部牧马山,因为华夏科学院光电技术研究所是才往那边搬迁,具体地址就算是最新的地图上都没法查到。
所以两人一车开到过,询问了不少老乡才得知一个正在修建单位的具体位置,开到后一看,果然看见上面挂了两个牌子。其中一个正是这次让张红旗过去看的合资公司的牌子。
因为还在建设当中,两个牌子都弄得非常简单,就两个白色的竖木板,上面分别用黑色粗体写着华夏科学院光电技术研究所和华夏旭日光学机电有限责任公司。
到这个时候张红旗才知道,原来合资公司被取了这个名字,仔细一想觉得旭日光机名字还行,这世上应该没有十个太阳都刻不动的晶片吧。
张红旗正打算下车,一个中年男子快步走了过来,笑着与他握手。
“张先生,你好,我是江汉文。光电所学术委员会主任,现在被单位派到旭日光机主持投影式光刻机的研发工作。”
男子自我介绍道,神情中透露出几分兴奋和期待。
张红旗握住他的手,回应道:“江主任,您好。今天特地过来看看你们提供的场地。”
江汉文点点头,示意张红旗跟他一起进入建筑内部。“我们现在这边还在建设,不过一些基础设施已经基本完成,跟我来,我带你参观一下。”
两人走进建筑,内部的部分区域仍然有工人们正在紧张地施工,空气中弥漫着水泥和木材的气味。
江汉文一边走一边介绍各个区域的规划。张红旗细心观察着周围,时不时点头表示认可。
“香江集成电路有限公司提供的技术资料和研发资金,真的帮了我们大忙。”
江汉文突然说道,声音中带着感激,“要不是这些资料和资金,我们还就得继续啃接近/接触式光刻机这个鸡肋上继续摸索下去。”
张红旗好奇地问:“我记得国外74年就有对称光路的投影机,技术水平也不高,为什么最初上级要求研发接近/接触式光刻机?”
江汉文叹了口气,眉头微皱,“主要是因为国内能够接触到的光刻机不够先进,再加上当时采取跟随策略,上面认为从基础做起风险更为可控。”
张红旗点点头,表示理解。接着,他问道:“现在我们转向投影式光刻机的研发,有具体的计划吗?”
江汉文脸上露出一丝自信的微笑。
“当然有,香江提供的技术资料让我们可以直接跳过接近/接触式光刻机,投入到投影式光刻机的研发中。
我们计划首先搭建一个原型机,验证关键技术,包括光源、精密光学系统和高精度定位系统等。”
张红旗听得认真,微微点头,“看来你们已经对技术路线已经有了研究,剩下的就是如何执行下去。”
江汉文继续道:“确实如此。我们会逐步攻克每一个技术难点,争取尽快取得突破。”
两人走到一间宽敞的实验室,江汉文指着刚安装好的设备说道:“这里将是我们的研发核心区域。所有关键技术都会在这里进行测试和验证。”
张红旗看着这些设备,心中对未来充满了期待。他知道,这个项目不仅仅是一次技术研发,更是引入外资的一次重要尝试。
张红旗站在宽敞的实验室里,环顾四周,看到几台有点老旧的设备已经摆放到位,看样子应该是以前光电技术研究所的老设备搬过来的。
虽然还有不少地方显得简陋,但从江汉文的介绍中,他感受到了这里所蕴含的巨大潜力。
“江主任,你们的工作进展得这么快,真是让人佩服。”张红旗由衷地赞叹道。
江汉文微笑着点头,“还
得感谢香江方面投入过来的资金,要不是成立了合资公司专门研发光刻机,设备搬迁的速度肯定不会这么快。”
张红旗点点头,突然想到一个问题,“江主任,关于投影式光刻机的光源技术,你们现在有什么计划?”
江汉文沉思片刻,脸上露出一丝严肃,“光源是整个系统的核心之一。我们目前正在研究几种方案,包括高压汞灯和准分子激光器。
高压汞灯好在我们现在就有技术,直接就有成品可用。但是它的光强不足、波长较长,生产时需要更长时间曝光。
准分子激光器波长更短,光强也能提上来,但是没有现成的技术,需要进行开发。”
张红旗微微皱眉,“准分子激光器的技术要求很高,国内目前的水平能跟得上吗?”
江汉文露出一丝苦笑,“这正是我们的难点之一。准分子激光器的制造工艺非常复杂,但它的波长短,非常适合高分辨率光刻。
我们打算向香江公司求援,看能不能从香江的渠道,先从国外引进一部分核心部件,再结合我们的研究进行改进。”
张红旗点了点头,表示理解。他又问道:“除了光源,其他方面的技术呢?”
江汉文的神情变得更加专注,“光学系统的设计和制造是另一大挑战。初期阶段主要是完成理论研究和技术可行性分析,制作初步原型并进行测试,所以我们是打算自行制造镜头和光学元件。
等到预生产样机建造大规模测试的时候,我们计划通过香江公司寻求与国外的光学设备制造商合作,比如carl zeiss和nikon,采购高质量的镜头和光学元件。
同时,我们也在积极培养自己的技术团队,提高自主研发能力。”
两人继续在实验室里走动,张红旗关注到一台尚未组装完毕的设备,其中有一个部件引起了他的好奇。
“这是什么?”